氮化鋁造粒粉由微米粉噴霧造粒而成，含有粘結劑及燒結助劑，可直接壓制成形。鉅瓷科技的氮化鋁造粒粉具有良好的流動性、高燒結活性，以及高純度、高強度的特點，可用于制作氮化鋁加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷等各種半導體設備部件。
產品特性
高純度
High Purity
即時壓制
Ready for press
高強度
High strength
高燒結活性
High sintering activity
良好流動性
High fluidity
技術參數
項目Item | GS-80 | |
平均粒徑 Mean particle size (μm) | 70~120 | |
Y2O3 (WT%) | 5 | |
松裝密度 Bulk density (g/cm3) | 0.8~1.0 | |
流動性 Fluidity (s/50g) | 80~100 | |
雜質含量 | Ca (ppm) | ＜500 |
Si (ppm) | <100 | |
Fe (ppm) | <30 | |
成形工藝
脫脂工藝
200℃前3℃/ min ，400℃前2℃/ min，500℃前5℃/ min ，保溫2小時。
燒結溫度1830~1900℃，保溫時間3~5 hrs,流動氮氣，0.1MPa
產品應用
壓制陶瓷原料：加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷
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